本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同（或订货单）内容。
本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
标准编号：YS/T 937-2013
标准名称：镍铂靶材
英文名称：Nickel-platinum target
发布部门：工业和信息化部
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014-03-01
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院、宁波江丰电子股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
文件大小：390.64KB
文件格式：PDF
文件页数：20页
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