YS/T 937-2013 镍铂靶材

显示全部楼层 · 发表于 2021-10-5 18:18:04

本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同（或订货单）内容。
本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。

标准编号：YS/T 937-2013
标准名称：镍铂靶材
英文名称：Nickel-platinum target
发布部门：工业和信息化部
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014-03-01
标准状态：现行
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院、宁波江丰电子股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
文件大小：390.64KB
文件格式：PDF
文件页数：20页

标准全文下载：

YST 937-2013 镍铂靶材.pdf (390.64 KB)

封面截图如下：

		自动登录	找回密码
密码			立即注册