本标准规定了高纯三氧化二镓中杂质元素含量的测定方法。
本标准适用于髙纯三氧化二镓中钠、镁、钙、钛、钒、铬、锰、铁、镍、钴、铜、锌、锡、铅、铟含量的测定。 各元素测定范围为（1×10-6)%〜(4×10-5)%。
标准编号：YS/T 980-2014
标准名称：高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文名称：Determination of impurities of high purity gallium oxide-Inductively coupled plasma-mass spectrmetry
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
起草单位：蛾嵋半导体材料研究所、南京中锗科技股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司
文件大小：247.19KB
文件格式：PDF
文件页数：9页
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