本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。
本标准适用于化学气相沉积。
标准编号：YS/T 1031-2015
标准名称：化学气相沉积炉
英文名称：Chemical vapor deposition furnace
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
起草单位：湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
文件大小：499.21KB
文件格式：PDF
文件页数：9页
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