本标准规定了硅片的包装。
本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装，使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。
标准编号：YS/T 28-2015
标准名称：硅片包装
英文名称：Package of silicon wafers
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
替代情况：替代YS/T 28-1992
起草单位：杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、东莞市华源光电科技有限公司
文件大小：252.05KB
文件格式：PDF
文件页数：7页
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