本标准规定了硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0.050%～10.00%。
标准编号：YS/T 1290-2018
标准名称：多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法
英文名称：Determination of silane content in tail gas of polycrystalline silicon production-Gas chromatographic method
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2018-10-22
实施日期：2019-04-01
起草单位：内蒙古神舟硅业有限责任公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、四川永祥多晶硅有限公司
文件格式：PDF
文件页数：8页
文件大小：3.61MB
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