本文件规定了电子工业用气体30%氧气/氦气混合气中氧气及杂质的检测原理、试剂或材料、仪器设备、测定步骤及结果处理等。本文件适用于电子工业用气体30%氧气/氦气混合气中氧气、氢气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳和水分的测定。氧气含量测定的检测限不大于5×10-6(体积分数),氢气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量测定的检测限不大于0.01×10-6(体积分数),水含量测定的检测限不大于0.01×10-6(体积分数)。
标准编号：DB13/T 5470-2021
标准名称：30%氧气/氦气混合气中氧气及杂质的检测 色谱法
发布部门：河北省市场监督管理局
发布日期：2021-12-13
实施日期：2022-01-13
文件格式：PDF
文件页数：8页
文件大小：456.12KB
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