本规程适用于平面等倾干涉仪的首次检定、后续检定和使用中的检验。
标准编号:JJG 661-2004
标准名称:平面等倾干涉仪检定规程
英文名称:Flatness Interferometer with Isoclinic Circle Fringe
发布部门:国家质量监督检验检疫总局
发布日期:2004-09-21
实施日期:2005-03-21
替代情况:替代JJG 661-1990
起草单位:中国测试技术研究院
起草人员:冉庆、陈永康、张成悌、曹箭
文件大小:387.09KB
文件格式:PDF
文件页数:14页
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