本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。 扫描探针显微镜根据其设计原理不同，校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务，如对溯源要求较高的测量，不在本校准规范的适用范围。
标准编号：JJF 1351-2012
标准名称：扫描探针显微镜校准规范
英文名称：Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes
发布部门：国家质量监督检验检疫总局
发布日期：2012-06-18
实施日期：2012-09-18
起草单位：中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、上海计量测试技术研究院、贵州计量测试院
起草人员：朱振宇、任冬梅、傅云霞、李源、吕小洁
文件大小：1.20MB
文件格式：PDF
文件页数：16页
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