本规范适用于平面等厚干涉仪的校准。
标准编号：JJF 1100-2016
标准名称：平面等厚干涉仪校准规范
英文名称：Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers
发布部门：国家质量监督检验检疫总局
发布日期：2016-11-30
实施日期：2017-05-30
替代情况：替代JJF 1100-2003
起草单位：中国测试技术研究院、中国计量科学研究院
起草人员：冉庆、张恒、赵小萍、康岩辉
文件大小：427.93KB
文件格式：PDF
文件页数：15页
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