本规范适用于波长范围在250 nm～2 000 nm内的椭偏仪的校准。
标准编号：JJF 1932-2021
标准名称：椭偏仪校准规范
英文名称：Calibration Specification for Ellipsometers
发布部门：国家市场监督管理总局
发布日期：2021-12-08
实施日期：2022-06-08
起草单位：中国计量科学研究院、中国兵器工业第二〇五研究所
起草人员：刘文德、陈赤、王雷
文件大小：449.63KB
文件格式：PDF
文件页数：22页
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