本标准规定了离子注入机用钨材（钨板和钨杆）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）等内容。
本标准适用于离子注入机用钨板和钨杆。
标准编号：YS/T 1371-2020
标准名称：离子注入机用钨材
英文名称：Tungsten material for ion implanter
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
起草单位：厦门虹鹭钨钼工业有限公司、西安瑞福菜钨钼有限公司、安泰天龙钨钼科技有限公司、成都联虹钼业有限公司
文件格式：PDF
文件页数：8页
文件大小：1.94MB
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