本规范适用于平均间距为(140～2 000)nm、能观测到衍射现象的一维或二维反射光栅的校准。
标准编号：JJF 1967-2022
标准名称：激光衍射法反射光栅校准规范
英文名称：Calibration Specification for Reflection Gratings by Laser Diffraction
发布部门：国家市场监督管理总局
发布日期：2022-04-29
实施日期：2022-10-29
起草单位：中国计量科学研究院
起草人员：殷聪、石春英
文件格式：PDF
文件页数：29页
文件大小：612.11KB
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