本标准规定了双面光刻机工艺验证的一般要求、验证条件、验证方法等内容。
本标准适用于双面光刻机（以下简称光刻机）工艺性能的验证。
标准编号：SJ 21254-2018
标准名称：双面光刻机验证方法
英文名称：Technological verification procedures for double side mask aligner
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
起草单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
文件格式：PDF
文件页数：12页
文件大小：3.49MB
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