本文件规定了六氯乙硅烷中三氯氢硅、四氯化硅、六氯 乙硅烷及其他组分含量的气相色谱测定方法。
本文件适用于六氯乙硅烷中三氯氢硅、四氯化硅、六氯 乙硅烷及其他组分含量的测定，各组分的测定范围（质量分数）为不小于 0.001%。
标准编号：YS/T 1434-2021
标准名称：六氯乙硅烷组分含量的测定气相色谱法
英文名称：Determination of component content of hexachlorodisilane- Gas chromatography
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2021-12-02
实施日期：2022-04-01
起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、内蒙古通威高纯晶硅有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、雅波拓（福建）新材料有限公司
文件大小：531.01KB
文件格式：PDF
文件页数：6页
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