本标准规定了光掩模制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法。
本标准适用于3600F型图形发生器，其他型号图形发生器（如3600型、EM250型等）可参照本标准并结合该设备的具体指标检查评定。
标准编号：SJ/T 31080-2016
标准名称：光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法
英文名称：Pattern generator for photomask making requirements of readiness and methods of inspection assessment
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2016-01-15
实施日期：2016-06-01
替代情况：替代SJ/T 31080-1994
起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所
文件格式：PDF
文件页数：6页
文件大小：211.68KB
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