本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于生产电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延材料用碳化硅单晶抛光片。
标准编号：GB/T 30656-2023
标准名称：碳化硅单晶抛光片
英文名称：Polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2023-03-17
实施日期：2023-10-01
替代情况：替代GB/T 30656-2014
起草单位：北京天科合达半导体股份有限公司、中国科学院物理研究所、南京国盛电子有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司
起草人员：陈小龙、彭同华、佘宗静、王波、刘春俊、李素青、郭钰、娄艳芳、郑红军、杨建、骆红、钮应喜
文件格式：PDF
文件页数：16页
文件大小：4.44MB
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