本文件描述了微米尺度沟槽结构和棱锥式针结构，并给出两种结构几何形状的测量示例。
本文件中沟槽结构的深度为1 μm～100 μm、沟槽宽和沟槽间隔宽均为5 μm～150 μm、深宽比为0.006 7～20。棱锥式针结构具有三个或四个面，其高度、横向宽度和纵向宽度为2 μm或更大，并且外轮廓尺寸可包含于边长为100 μm的立方体内。
本文件适用于MEMS结构设计和MEMS结构加工后的几何形状评估。
标准编号：GB/T 42158-2023
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
英文名称：Micro-electromechanical systems technology(MEMS)—Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2023-03-17
实施日期：2023-07-01
起草单位：苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、苏州揽芯微纳科技有限公司、东南大学、苏州市标准化协会、美满芯盛(杭州)微电子有限公司、深圳市中图仪器股份有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国合格评定国家认可中心、深圳市道格特科技有限公司
起草人员：张硕、顾枫、李根梓、沈俊杰、俞骁、周再发、王敏锐、贾建国、许百宏、许克宇、王志远、刘志广
文件格式：PDF
文件页数：23页
文件大小：6.35MB
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