GB/Z 42625-2023 真空技术真空计用于分压力测量的四极质谱仪特性

显示全部楼层 · 发表于 2023-6-21 20:18:45

本文件规定了四极质谱仪的特性，该质谱仪的离子源为电子轰击型，原子的质荷比（m/z）小于300。
本文件不适用于配有其他类型离子源的四极质谱仪，比如化学电离型离子源、光电离型离子源或场电离型离子源，也不适用于分析测量较大质荷比（m/z）的四极质谱仪，它们主要用于检测有机材料。根据已出版的文献可知，四极质谱仪的计量特性依赖于仪器的设置、总压力和混合气体成分，因此，对所有应用状况下的四极质谱仪进行校准是不现实的。
本文件中规定的特性方法包括真空系统的连续泄漏监测、采用示踪气体的漏率测量、残余气体分析和材料放气率测试。使用者能选择适合自身需求的特性方法，其他应用情况也能参照本文件的特性方法。已知四极质谱仪部分参数的稳定性较差，尤其是灵敏度。因此，已校准参数，当需要精度更高时，仍需反复再校准。实际工况下，只能现场校准。因此，本文件不仅描述了校准实验室或者国家计量机构能如何校准四极质谱仪，并直接溯源到国际单位制（SI），而且描述了如何能在现场检查和维护已校准参数。根据其物理原理，四极质谱仪需要高真空环境。通过减小进气尺寸或通过特殊离子源与分流泵相结合，四极质谱仪的操作范围能扩大到更高的压
标准编号：GB/Z 42625-2023
标准名称：真空技术真空计用于分压力测量的四极质谱仪特性
英文名称：Vacuum technology—Vacuum gauges—Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement
发布部门：国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会
发布日期：2023-05-23
实施日期：2023-05-23
标准状态：现行
起草单位：北京卫星环境工程研究所、中国航天科技集团有限公司第五研究院第五一〇研究所、上海精密计量测试研究所、重庆云海机械制造有限公司、沈阳汇真真空技术有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、沈阳真空技术研究所有限公司
起草人员：孙立臣、任国华、崔寓淏、周雪茜、成永军、孙雯君、赵澜、肖寅枫、翁俊、倪博、唐俊聪、王帆、言继春、王功发、王莉娜、闫荣鑫、李唯丹、郭崇武、韩琰、刘恩均、窦仁超、张子罡、李征、陈联、管保国、宋青竹、苏玉萍、王玲玲
文件格式：PDF
文件页数：24页
文件大小：7.28MB

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GB/Z 42625-2023 真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性

GB/Z 42625-2023 真空技术真空计用于分压力测量的四极质谱仪特性