本规范适用于放大倍数 20k~200k 的关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）的校准。
标准编号：JJF(冀) 213-2023
标准名称：关键尺寸扫描电子显微镜校准规范
发布部门：河北省市场监督管理局
发布日期：2023-08-02
实施日期：2023-11-01
文件格式：PDF
文件页数：13页
文件大小：723.50KB
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