SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1 部分：管式 PECVD 设备

显示全部楼层 · 发表于 2023-10-14 13:05:41

本文件规定了晶体硅光伏电池用管式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。
本文件适用于晶体硅光伏电池用管式 PECVD 设备，产品主要用
于在晶体硅光伏电池减反射膜、钝化膜的淀积与氢钝化。

标准编号：SJ/T 11829.1-2022
标准名称：晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1 部分：管式 PECVD 设备
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2022-09-30
实施日期：2023-01-01
标准状态：现行
文件大小：6.02MB
文件格式：PDF
文件页数：17页

标准全文下载：

SJT 11829.1-2022.pdf (6.02 MB)

封面截图如下：

		自动登录	找回密码
密码			立即注册

SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1 部分：管式 PECVD 设备

浏览过的版块

SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1 部分：管式 PECVD 设备