本文件规定了晶体硅光伏电池用板式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。适用于晶体硅光伏电池用板式 PECVD 设备。
本文件适用于沉积多种薄膜材料，例如，非晶硅（a-Si:H）、微晶硅（μc-Si:H）、二氧化硅（SiO2）、氧化铝（Al2O3）、氮化硅（SiNx）薄膜等本征薄膜以及各种掺杂薄膜材料等，薄膜光伏电池、柔性光
伏电池用 PECVD 设备也可参照使用。
标准编号：SJ/T 11829.2-2022
标准名称：晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2 部分：板式 PECVD 设备
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2022-09-30
实施日期：2023-01-01
文件大小：5.90MB
文件格式：PDF
文件页数：17页
标准全文下载：
封面截图如下：
 |
声明：
1、内容来自用户上传，仅供会员交流学习，禁止用于商业用途,下载后请在24小时之内删除；
2、如涉及侵权问题，请立即告知本站(std_123@foxmail.com)，本站将及时删除并致以最深的歉意；
