本标准规定了MEMS惯性器件制造过程中介质薄膜生长的工艺流程、工艺要求和检验要求。
标准编号：SJ 21170-2016
标准名称：MEMS 惯性器件介质薄膜生长工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for MEMS inertial device dielectric thin films deposition process
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2016-12-14
实施日期：2017-03-01
起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
文件大小：2.61MB
文件格式：PDF
文件页数：12页
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