本文件规定了旋转式涂覆设备的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。
本文件适用于泛半导体微纳加工光刻工艺制程中的旋转式涂覆设备。
标准编号：SJ/T 11183-2022
标准名称：旋转式涂覆设备通用规范
英文名称：General specification for spin coater
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2022-10-20
实施日期：2023-01-01
替代情况：替代SJ/T 11183-1998
起草单位：沈阳芯源微电子设备有限公司、中国电子技术标准化研究院
文件大小：4.43MB
文件格式：PDF
文件页数：11页
标准全文下载：
封面截图如下：
 |
声明：
1、内容来自用户上传，仅供会员交流学习，禁止用于商业用途,下载后请在24小时之内删除；
2、如涉及侵权问题，请立即告知本站(std_123@foxmail.com)，本站将及时删除并致以最深的歉意；
