本文件界定了用于射频控制和选择的MEMS体声波谐振器、滤波器和双工器的术语和定义，给出了基本额定值和特性，描述了测试方法，用于评估和确定其性能。
本文件规定了体声波谐振器、滤波器和双工器的试验方法和通用要求，用于能力批准程序或鉴定批准程序的质量评定。
标准编号：GB/T 42709.7-2023
标准名称：半导体器件 微电子机械器件 第7部分：用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器
英文名称：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 7:MEMS BAW filter and duplexer for radio frequency control and selection
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2023-05-23
实施日期：2023-12-01
起草单位：中国电子技术标准化研究院、中国电子信息产业集团有限公司、河北美泰电子科技有限公司、北京大学、北京必创科技股份有限公司、天津大学
起草人员：刘若冰、李博、崔波、梁彦青、张威、陈得民、杨清瑞
文件大小：2.23MB
文件格式：PDF
文件页数：26页
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