标准编号：DB13/T 5865-2023
标准名称：晶圆表面颗粒度检查仪校准方法
发布部门：河北省市场监督管理局
发布日期：2023-10-25
实施日期：2023-11-25
起草单位：中电国基北方有限公司、河北美泰电子科技有限公司
文件大小：403.19KB
文件格式：PDF
文件页数：12页
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