标准编号：GB/T 43748-2024
标准名称：微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
英文名称：Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2024-03-15
实施日期：2024-10-01
标准状态：现行/即将实施
起草单位：广东省科学院工业分析检测中心、南方科技大学、胜科纳米（苏州）股份有限公司
文件大小：1.82MB
文件格式：PDF
文件页数：14页
发表于 2024-4-30 21:10:29
