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T/ZSA 231-2024 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

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发表于 2024-5-25 01:24:41 | 显示全部楼层 |阅读模式
本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片,对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。

标准编号:T/ZSA 231-2024
标准名称:氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
英文名称:Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of Ga2O3 single crystal substrate
发布部门:中关村标准化协会
发布日期:2024-05-15
实施日期:2024-05-16
标准状态:现行
起草单位:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京镓创科技有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京邮电大学、北京聚仪共享科技有限公司
起草人员:李培刚、宫学源、闫方亮、李龙、杨丽霞、王进进、朱勋、郑红军、刘祎晨、刘紫洋
文件大小:329.31KB
文件格式:PDF
文件页数:10页

标准全文下载:
TZSA 231-2024.pdf (329.31 KB)

封面截图如下:
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