标准编号:T/ZSA 231-2024
标准名称:氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
英文名称:Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of Ga2O3 single crystal substrate
发布部门:中关村标准化协会
发布日期:2024-05-15
实施日期:2024-05-16
标准状态:现行
起草单位:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京镓创科技有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京邮电大学、北京聚仪共享科技有限公司
起草人员:李培刚、宫学源、闫方亮、李龙、杨丽霞、王进进、朱勋、郑红军、刘祎晨、刘紫洋
文件大小:329.31KB
文件格式:PDF
文件页数:10页