标准编号：YS/T 1600-2023
标准名称：碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
英文名称：Determination of trace impurity elements in silicon carbide single crystal-Glow discharge mass spectrometry
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2023-04-21
实施日期：2023-11-01
标准状态：现行
起草单位：国合通用测试评价认证股份公司、国标（北京）检验认证有限公司、南京国盛电子有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、厦门万明电子有限公司、广东先导稀材股份有限公司、河北同光晶体有限公司、北京清质分析技术有限公司、贵研检测科技（云南）有限公司
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文件格式：PDF
文件页数：10页
发表于 2024-6-3 16:01:56
