本文件规定了六氯乙硅烷中钠、镁、铝、钾、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、铅、钡、锂、锶、铋、钼等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。
本文件适用于六氯乙硅烷中杂质元素含量的测定，各元素测定范围为0.01ng/g～50ng/g。
标准编号：YS/T 1601-2023
标准名称：六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文名称：Determination of impurity content in hexachlorodisilane—Inductively coupled plasma mass spectrometry
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2023-04-21
实施日期：2023-11-01
起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、新特能源股份有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、四川永祥多晶硅有限公司、新疆大全新能源股份有限公司
文件大小：231.44KB
文件格式：PDF
文件页数：7页
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