GB/T 42659-2023 表面化学分析扫描探针显微术采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准

显示全部楼层 · 发表于 2024-6-4 15:48:34

本文件描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。
本文件旨在： ——通过对长度单位溯源，提高SPM几何量测量结果的可比性； ——明确校准程序及验收条件的最低要求； ——确认被校准仪器的能力（赋予仪器“校准能力”所属的类别）； ——规定校准的范围（测量及环境条件、测量范围、时间稳定性、通用性）； ——根据ISO/IEC Guide 98-3，提供模型来计算SPM测量中简单几何量的不确定度； ——规定报告结果的要求。

标准编号：GB/T 42659-2023
标准名称：表面化学分析扫描探针显微术采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准
英文名称：Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Determination of geometric quantities using SPM:Calibration of measuring systems
发布部门：国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会
发布日期：2023-08-06
实施日期：2024-03-01
标准状态：现行
起草单位：中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、西安交通大学
起草人员：李伟、蔡潇雨、李适、杨树明、程碧瑶、魏佳斯、高思田
文件大小：10.46MB
文件格式：PDF
文件页数：53页

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GB/T 42659-2023 表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准

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