T/DLSHXH 008-2022 电子特气双（二乙基氨基）硅烷

显示全部楼层 · 发表于 2024-6-13 17:24:13

本标准规定了双（二乙基氨基）硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、贮运和安全信息。
本标准适用于以工业级双（二乙基氨基）硅烷为原料，经精馏、过滤提纯制得的电子级成品双（二乙基氨基）硅烷。该产品主要用于低温制备SiO2膜和硅基高介电薄膜的前驱体。

标准编号：T/DLSHXH 008-2022
标准名称：电子特气双（二乙基氨基）硅烷
发布部门：大连市石油和化工行业协会
发布日期：2022-09-30
实施日期：2022-10-20
标准状态：现行
起草单位：大连科利德光电子材料有限公司、大连市石油和化工行业协会
起草人员：施旖旎、焦中鹏、李晓婷、李文博、王明月、毕聪智
文件大小：404.10KB
文件格式：PDF
文件页数：10页

标准全文下载：

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