标准编号:GB/T 43661-2024
标准名称:表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准
英文名称:Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
发布部门:国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:2024-03-15
实施日期:2024-10-01
标准状态:现行/即将实施
起草单位:中山大学、广东工业大学、暨南大学
文件大小:2.85MB
文件格式:PDF
文件页数:17页