本文件规定了等离子化学气相沉积法石英玻璃碇的分级、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于以四氯化硅等无氢含硅化合物为原料，在等离子高温火焰中气相化学反应沉积而成的石英玻璃碇。
标准编号：JC/T 2392.3-2023
标准名称：石英玻璃碇 第3部分：等离子化学气相沉积法
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2023-12-20
实施日期：2024-07-01
文件大小：736.38KB
文件格式：PDF
文件页数：10页
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