本文件规定了工业高纯氢氟酸的的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输、贮存。
本文件适用于工业高纯氢氟酸。注：该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。
标准编号：HG/T 4509-2023
标准名称：工业高纯氢氟酸
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2023-12-20
实施日期：2024-07-01
替代情况：替代HG/T 4509-2013
文件大小：1.20MB
文件格式：PDF
文件页数：17页
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