本文件规定了半导体薄膜沉积 技术要求的术语和定义、基本要求、在线监测、质量控制、检验方法。
本文件适用于半导体薄膜沉积 技术要求的设计和检验。
标准编号：T/QGCML 4791-2024
标准名称：半导体薄膜沉积 技术要求
发布部门：全国城市工业品贸易中心联合会
发布日期：2024-10-17
实施日期：2024-11-01
起草单位：江苏中芯沃达半导体科技有限公司
起草人员：申学礼、靳振岗、张彩琴
文件大小：196.30KB
文件格式：PDF
文件页数：7页
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