本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售。
标准编号：T/GVS 017-2024
标准名称：连续式光学磁控溅射镀膜设备
英文名称：Continuous optical magnetron sputtering coating equipment
发布部门：广东省真空学会
发布日期：2024-12-24
实施日期：2024-12-24
起草单位：广东省新兴激光等离子体技术研究院、等离子体装备科技（广州）有限公司、离子束（广州）装备科技有限公司、广州市尤特新材料有限公司
起草人员：朱昆、李彬、曹祯烨、曹健辉、刘嘉静、杨锐、郑铭浩、周志宏
文件大小：398.40KB
文件格式：PDF
文件页数：10页
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