本文件描述了采用光学暗场共焦显微镜对微区表面及亚表面的表征方法。
本文件适用于固体材料。
标准编号：GB/T 44926-2024
标准名称：纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法
英文名称：Nanotechnologies—Characterization of micro surface and sub surface—Optical dark-field confocal microscopy
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2024-12-31
实施日期：2025-07-01
起草单位：哈尔滨工业大学、中国计量科学研究院、昆明物理研究所、西安应用光学研究所、北京微电子技术研究所、航天科工防御技术研究试验中心
起草人员：刘俭、施玉书、刘辰光、张树、胡旭、张云龙、李冬梅、冯慧
文件大小：7.66MB
文件格式：PDF
文件页数：23页
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