GB/T 44839-2024 微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法

显示全部楼层 · 发表于 2025-2-11 00:45:57

本文件描述了微柱压缩试验方法，用于MEMS 材料压缩特性的高精度、高重复性测量，且试样制造难度适中；测量试样单向压缩应力应变的关系，得到试样压缩弹性模量和屈服强度。试样是通过微加工技术在刚性（或高刚度）基体上制造的圆柱，其高径比（高度与直径的比值）大于3 为宜。
本文件适用于金属、陶瓷、高分子等材料制备的高度小于100 μm 微柱的测试。

标准编号：GB/T 44839-2024
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法
英文名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology一Micro-pillar compression test for MEMS materials
发布部门：国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会
发布日期：2024-10-26
实施日期：2025-02-01
标准状态：现行
起草单位：中国科学院微电子研究所、中机生产力促进中心有限公司、苏州容启传感器科技有限公司、武汉大学、北京大学、上海交通大学、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、东南大学、苏州慧闻纳米科技有限公司、中关村光电产业协会、工业和信息化部电子第五研究所、昆山双桥传感器测控技术有限公司、芯联集成电路制造股份有限公司、深圳市道格特科技有限公司
起草人员：周维虎、李根梓、孙宏霖、刘胜、霍树春、高成臣、刘景全、陈立国、杨剑宏、陈志文、焦斌斌、黄庆安、聂萌、张平平、陈晓梅、卢永红、陈思、王冰、谢红梅、刘志广
文件大小：3.08MB
文件格式：PDF
文件页数：15页

标准全文下载：

GBT 44839-2024.pdf (3.08 MB)

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GB/T 44839-2024 微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法

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