GB/T 44849-2024 微机电系统（MEMS）技术金属膜材料成形极限测量方法

显示全部楼层 · 发表于 2025-2-11 00:47:31

本文件描述了测量厚度范围为0.5 μm～300 μm 金属膜材料成形极限的方法。
本文件适用于通过压印等成型工艺制造电子元器件、MEMS 的金属膜材料。

标准编号：GB/T 44849-2024
标准名称：微机电系统（MEMS）技术金属膜材料成形极限测量方法
英文名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Forming limit measuring method of metallic film materials
发布部门：国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会
发布日期：2024-10-26
实施日期：2025-05-01
标准状态：现行/即将实施
起草单位：合肥美的电冰箱有限公司、中机生产力促进中心有限公司、无锡华润上华科技有限公司、苏州大学、微纳感知（合肥）技术有限公司、宁波科联电子有限公司、西北工业大学、美的集团股份有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、华东电子工程研究所（中国电子科技集团公司第三十八研究所）、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、北京晨晶电子有限公司、安徽北方微电子研究院集团有限公司
起草人员：曹诗亮、李根梓、马卓标、胡永刚、孙立宁、许磊、王雄伟、王学文、王春举、钱峰、张森、武斌、张红旗、张启心、汤一、陈林、王文婧
文件大小：2.40MB
文件格式：PDF
文件页数：23页

标准全文下载：

GBT 44849-2024.pdf (2.4 MB)

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GB/T 44849-2024 微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法

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