T/CHPSA YY003-2024 超洁净磁悬浮泵

显示全部楼层 · 发表于 3 天前

本文件规定了超洁净磁悬浮泵的泵结构、型号及参数、基本规定、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。

标准编号：T/CHPSA YY003-2024
标准名称：超洁净磁悬浮泵
英文名称：Ultraclean magnetic levitation pump
发布部门：中国液压气动密封件工业协会
发布日期：2024-11-01
实施日期：2024-12-01
标准状态：现行
起草单位：浙江启尔机电技术有限公司、浙江大学、江苏沃凯氟精密智造有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、华海清科股份有限公司、盛美半导体设备（上海）股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、上海至纯系统集成科技有限公司、苏州冠礼科技有限公司、创微微电子（常州）有限公司、吉姆西半导体科技（无锡）有限公司、江苏亚电科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第二研究所、江苏科沛达半导体科技有限公司、江苏芯梦半导体设备有限公司、青岛国林半导体技术有限公司、上海市计量测试技术研究院、中国液压气动密封件工业协会
起草人员：胡亮、苏芮、傅新、杨军、张翼飞、方泽华、贾振国、曹永友、赵德文、吴均、杨江龙、李东升、古智扬、张仕成、庄海云、李松松、李刚、靳志强、叶建东、蒋超伟、徐洪魁、李春华、付华
文件大小：538.18KB
文件格式：PDF
文件页数：16页

标准全文下载：

TCHPSA YY003-2024 超洁净磁悬浮泵.pdf (538.18 KB)

封面截图如下：

		自动登录	找回密码
密码			立即注册

T/CHPSA YY003-2024 超洁净磁悬浮泵

相关帖子

浏览过的版块