标准编号：T/CHPSA YY005-2024
标准名称：半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求
英文名称：Technical specification for contamination and surface roughness of wet components made of ultrapure polymer materials used in semiconductor processing
发布部门：中国液压气动密封件工业协会
发布日期：2024-11-01
实施日期：2024-12-01
标准状态：现行
起草单位：浙江启尔机电技术有限公司、上海市计量测试技术研究院、浙江大学、江苏沃凯氟精密智造有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、华海清科股份有限公司、盛美半导体设备（上海）股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、上海至纯系统集成科技有限公司、苏州冠礼科技有限公司、创微微电子（常州）有限公司、江苏亚电科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第二研究所、江苏科沛达半导体科技有限公司、江苏芯梦半导体设备有限公司、中国液压气动密封件工业协会
起草人员：苏芮、傅新、胡亮、杨军、张翼飞、徐文苹、李春华、常燕、郝萍、赵美慧、贾振国、曹永友、赵德文、吴均、苗阵、李东升、古智扬、张仕成、庄海云、李刚、靳志强、叶建东、蒋超伟、付华
文件大小：469.28KB
文件格式：PDF
文件页数：14页
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