本文件规定了电子工业用气体高纯六氟化钨中杂质的检测原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。
本文件适用于电子工业用气体高纯六氟化钨中氧+氩、氮气、一氧化碳、四氟化碳、二氧化碳、六氟化硫、四氟化硅、氟化氢、金属元素含量的测定。
标准编号：DB13/T 6137-2025
标准名称：高纯六氟化钨中杂质的检测
发布部门：河北省市场监督管理局
发布日期：2025-05-27
实施日期：2025-06-03
起草单位：中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
起草人员：马茜茜、崔雯、安园园、张露露、滕鑫胜、殷越玲、陈琛、李帅楠
文件大小：641.00KB
文件格式：PDF
文件页数：9页
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