本文件描述了碳化硅单晶片的微管密度的测试方法,包括化学腐蚀法和偏振光法。
本文件适用于碳化硅单晶片微管密度的测试。
标准编号：GB/T 30868-2025
标准名称：碳化硅单晶片微管密度测试方法
英文名称：Test method for micropipe density of monocrystalline silicon carbide
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2025-08-01
实施日期：2026-02-01
替代情况：替代GB/T 30868-2014,GB/T 31351-2014
文档格式：PDF
文档页数：10页
文档大小：1.53MB
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