本文件规定了卤化物气体的技术要求,描述了相应的试验方法,还规定了采样、检验规则、标志、包装、运输及贮存要求并提供了安全信息。
本文件适用于以工业卤化物气体为原料提纯制得的卤化物气体。
标准编号：GB/T 14603-2025
标准名称：电子气体 卤化物气体
英文名称：Electronic gas—Halide gas
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2025-08-01
实施日期：2026-02-01
替代情况：替代GB/T 14603-2009,GB/T 26251-2010,GB/T 18994-2014,GB/T 14602-2014,GB/T 17874-2021
文档格式：PDF
文档页数：31页
文档大小：1.03MB
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