本文件规定了微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,以下简称MEMS)材料腐蚀芯片及传感器的通用技术、设计、选材、制造及测试要求。
本文件适用于各类MEMS 材料腐蚀芯片及传感器的设计、制造、检验与应用,用于腐蚀环境的监测与评估。
标准编号：T/CSCP 0059.1-2025
标准名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第1部分：通用要求
发布部门：中国腐蚀与防护学会
发布日期：2025-09-01
实施日期：2025-10-01
文档格式：PDF
文档页数：18页
文档大小：456.85KB
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