本文件规定了微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,以下简称MEMS)材料腐蚀芯片及传感器的元器件技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。
本文件适用于MEMS 材料腐蚀芯片及传感器的设计、制造、检验和使用过程中的元器件选型及测试。
标准编号：T/CSCP 0059.4-2025
标准名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第4部分：元器件选型及测试
发布部门：中国腐蚀与防护学会
发布日期：2025-09-01
实施日期：2025-10-01
文档格式：PDF
文档页数：12页
文档大小：386.75KB
标准全文下载：
封面截图如下：
 |
声明：
1、内容来自用户上传，仅供会员交流学习，禁止用于商业用途,下载后请在24小时之内删除；
2、如涉及侵权问题，请立即告知本站(std_123@foxmail.com)，本站将及时删除并致以最深的歉意；
