本文件规定了微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,以下简称MEMS)材料腐蚀芯片及传感器电路设计要求、性能要求及测试方法。
本文件适用于各类MEMS 材料腐蚀芯片及传感器的电路设计、验证测试及质量评价。
标准编号：T/CSCP 0059.5-2025
标准名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第5部分：电路设计及测试
发布部门：中国腐蚀与防护学会
发布日期：2025-09-01
实施日期：2025-10-01
文档格式：PDF
文档页数：12页
文档大小：441.04KB
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