本文件规定了银靶材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单。
本文件适用于半导体器件用的各类银溅射靶材。其他用途的银靶材参照使用。
标准编号：GB/T 26307-2025
标准名称：银靶材
英文名称：Siver target
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2025-08-29
实施日期：2026-03-01
替代情况：替代GB/T 26307-2010
文档格式：PDF
文档页数：9页
文档大小：274.26KB
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