本文件规定了蓝宝石单晶衬底抛光片(以下简称“蓝宝石衬底片”)的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于直径不大于200mm 的蓝宝石衬底片。产品主要用于外延生长半导体薄膜、生产蓝宝石图形化衬底、蓝宝石键合衬底等。
标准编号：GB/T 30858-2025
标准名称：蓝宝石单晶衬底抛光片
英文名称：Polished mono-crystalline sapphire substrate wafer
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2025-10-31
实施日期：2026-05-01
替代情况：替代GB/T 30858-2014
文档格式：PDF
文档页数：13页
文档大小：325.71KB
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