本文件规定了半导体行业用电子级八甲基环四硅氧烷的技术要求、检验规则、包装、标志、随货资料、运输、贮存及安全警告的要求,描述了对应的检测方法。
本文件适用于沉积氧化硅、碳氧掺杂硅、碳化硅等硅基膜的电子级八甲基环四硅氧烷,以其优异的绝缘性和耐高温性在半导体领域用作封装隔离层、集成电路绝缘层和介电层等。
标准编号：GB/T 46697-2025
标准名称：电子级八甲基环四硅氧烷
英文名称：Electronic grade octamethyl cyclotetrasiloxane
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2025-10-31
实施日期：2026-05-01
文档格式：PDF
文档页数：15页
文档大小：551.96KB
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